上海新微技术研发中心有限公司8寸MEMS研发中试线建设项目及物联网/先进传感器产品技术中试平台项目炉管等工艺设备采购

政府采购信息网  作者：  发布于：2016-12-23 13:54:00  来源：中国政府采购网

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　　上海国际招标有限公司受上海新微技术研发中心有限公司委托，根据《中华人民共和国政府采购法》等有关规定，现对8寸MEMS研发中试线建设项目及物联网/先进传感器产品技术中试平台项目炉管等工艺设备采购国际招标进行公开招标，欢迎合格的供应商前来投标。

 

项目名称：8寸MEMS研发中试线建设项目及物联网/先进传感器产品技术中试平台项目炉管等工艺设备采购国际招标

项目编号：0705-164015604104

项目联系方式：

项目联系人：张靖姝

项目联系电话：62791919-198

 

采购单位联系方式：

采购单位：上海新微技术研发中心有限公司

地址：上海市嘉定区城北路235号3号楼

联系方式：游家杰、周曙华，69923266×8654、2153

 

代理机构联系方式：

代理机构：上海国际招标有限公司

代理机构联系人：张靖姝、王晋，62791919×198、161

代理机构地址： 中国上海延安西路358号美丽园大厦14楼

 

一、采购项目的名称、数量、简要规格描述或项目基本概况介绍：

品目号	货物名称	简要技术说明	数量	交货期
1	Un-dope Poly Furnace	低压条件下，生成非掺杂多晶硅。	1套	2017年4月10日前
2	Thermal OX Furnace	常压条件下，进行气体反应，生成高温氧化膜	1套	2017年4月10日前
3	LP LTO Furnace	低压条件下，进行气体反应，生成低温氧化膜	1套	2017年4月10日前
4	LP TEOS Furnace	低压条件下，进行气体反应，生成高温氧化膜	1套	2017年4月10日前
5	LP SIN Furnace	低压条件下，进行气体反应，生成氮化硅	1套	2017年4月10日前
6	Low Stress Poly Furnace	低压条件下，生成非掺杂的低应力多晶硅	1套	2017年4月10日前
7	Drive in Furnace	常压条件下，高温推进	1套	2017年4月10日前
8	Anneal Furnace	常压条件下，高温退火	1套	2017年4月10日前
9	Alloy Furnace	低压条件下，低温合金	1套	2017年4月10日前
10	Photoresist Strip	清洁和去除刻蚀后晶圆片表面的光刻胶	2套	2017年4月10日前
11	Photoresist Descum	对晶圆片的光刻胶表面进行处理，去除曝光区局部光阻残留	1套	2017年4月10日前
12	Backside wet etch clean	利用化学品对单片晶圆片进行背面清洗	1套	2017年4月10日前
13	COT and DEV	匀胶、烘烤、显影	1套	2017年4月10日前
14	IL Step Exposure	I线曝光，用于线宽大于0.35um的工艺	1套	2017年4月10日前
15	CD-Measurement	对8寸晶圆片的关键尺寸进行测量	1套	2017年4月10日前
16	Single Wafer Scrubber	利用刷头、Jet或AS对单片晶圆片进行清洗，减少颗粒度及粘污	1套	2017年4月10日前

 

二、投标人的资格要求：

1） 投标人应为符合《中华人民共和国招标投标法》规定的独立法人或其他组织；2） 投标货物可以是全新设备，也可以是翻新后的二手设备，投标人必须在其投标文件中对每项投标货物明确说明（包括生产年份和序列号）；3） 投标人及投标货物的制造商/翻新厂商近三年内在经营活动中没有重大违法记录，无利用不正当竞争手段骗取中标，无重大经济刑事案件，未因自身的任何违约、违法或违反商业道德的行为而导致合同解除或作为被告败诉；4） 投标人及投标货物的制造商/翻新厂商应具有履行合同所必须的设备和半导体专业技术能力，且在最近的2年内具有不少于10套本招标文件列表内机台的8寸线工艺设备整机的实际直接供货和装机经验，须提供相应装机数据和客户信息给招标人确认（投标人与客户的交易凭证）；5） 投标人在中国境内应设有售后服务团队，能提供本地化的售后服务；6） 投标人若为代理商，须获得并提供投标货物制造商/翻新厂商出具的针对本项目的独家授权书及售后服务授权书；7） 本项目不接受联合体投标；8） 投标人提供的投标货物中自有机台的估价不少于全部投标货物总额的35%，须提供自有机台真实性证明（机台所属证明，down-payment，不接受LOI），投标人须在招标单位提出要求后的3天内接受招标单位对机台真实性的现场查验。9） 投标人须在投标截止期之前在国家商务部指定的为机电产品国际招标投标活动提供公共服务和行政监督的网上平台（以下简称招标网，网址为：http://www.chinabidding.com）上完成有效注册。

 

三、招标文件的发售时间及地点等：

预算金额：9000.0 万元（人民币）

时间：2016年12月23日 09:00 至 2016年12月30日 16:00(双休日及法定节假日除外)

地点：中国上海延安西路358号美丽园大厦14楼

招标文件售价：￥1000.0 元，本公告包含的招标文件售价总和

招标文件获取方式：现场领购

 

四、投标截止时间：2017年01月13日 10:30

五、开标时间：2017年01月13日 10:30

六、开标地点：

中国上海延安西路358号美丽园大厦19楼上海国际招标有限公司会议室

 

七、其它补充事宜

有兴趣的潜在投标人可从招标机构处得到进一步的信息和查阅招标文件。在查阅和购买招标文件前，潜在投标人须向招标机构提供已签署盖章的《保密承诺》原件一份（签署人非法定代表人的还需提供法定代表人授权书），否则招标机构将拒绝向其提供相关信息和出售招标文件。

有兴趣的投标人可从2016年12月23日起至2016年12月30日止，每天（节假日除外）9:00时至16:00时（北京时间）在中国上海延安西路358号美丽园大厦14楼购买招标文件，在上述规定的招标文件出售截止期之后将不再出售本项目的招标文件。本招标文件每套售价为人民币壹仟元整（RMB 1,000.00）或壹佰伍拾美元（USD 150.00），售后不退。国内邮购须另加伍拾元人民币（RMB 50.00）；国外邮购须另加伍拾美元（USD 50.00）。

邮购招标文件汇款账户信息
开户银行：招商银行股份有限公司上海曹家渡支行
户名：上海国际招标有限公司
账号：215080920510001

招标机构：上海国际招标有限公司
详细地址：中国上海延安西路358号美丽园大厦14楼
邮    编：200040
联 系 人：张靖姝、王晋
电    话：86-21-62791919×198、161
传    真：86-21-62791616×198、161
电子信箱：zhangjingshu@shabidding.com、wangjin@shabidding.com

 

八、采购项目需要落实的政府采购政策：

详见招标文件

 

 

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